JUN 23, 2023

原子スケールにおける原子レベルの処理に関する理解の進展

講演者

サイモン・エリオット
アトミックレベル・プロセス・シミュレーション ディレクター

要旨

本講演では、シミュレーションがALDの成長メカニズム、そして最近ではALEの成長メカニズムに対する理解をいかに深めてきたかについて、いくつかの事例を交えて紹介します。また、基板上での核生成、金属の堆積、プラズマ・表面反応、および前駆体の設計に関する研究の概要についても解説します。これらを踏まえ、シミュレーションによって、連続的プロセスと自己制限的プロセスの制御方法、ならびに堆積とエッチングの制御方法が明らかになりつつあります。

本研究において、コラボレーションがいかに主要な原動力となってきたかを強調するとともに、モデル結果が実際の実験にとってどの程度妥当であるかを常に検証し、問い直してきた。研究ツールとしての原子スケールモデリングの普及が進むにつれ、その有用性と影響力が裏付けられつつある。

コンピュータの処理能力が雪だるま式に増え続ける限り、プロセス化学のモデリングの未来は明るい。私たちは、化合物空間 による半自律的な探索を通じて、改良された前駆体が見つかることを期待している。機械学習技術は、複雑な物性の予測や、大規模系における原子間ポテンシャルの精度向上など、物理法則に基づくシミュレーションでは手が届かなかった領域を切り拓きつつある。