JUN 23, 2023

원자 수준에서 이루어지는 원자 단위 가공 과정에 대한 이해의 진전

발표자

사이먼 엘리엇
이사 – 원자 수준 공정 시뮬레이션

초록

이번 강연에서는 시뮬레이션이 ALD의 성장 메커니즘에 대한 이해를 어떻게 심화시켰는지, 그리고 최근에는 ALE에 대해서도 어떻게 이해를 넓혀주었는지에 대한 사례들을 살펴보겠습니다. 또한 기판 상의 핵생성, 금속 증착, 플라즈마-표면 반응 및 전구체 설계에 관한 연구 내용도 간략히 소개하겠습니다. 이를 바탕으로, 시뮬레이션을 통해 현재 연속적 과정과 자기제한적 과정, 그리고 증착과 에칭을 어떻게 제어할 수 있는지가 밝혀지고 있습니다.

우리는 협업이 이 연구의 주요 원동력이 되어왔음을 강조할 것이며, 모델 결과가 실제 실험에 얼마나 부합하는지 끊임없이 검증하고 재고해 나갈 것입니다. 연구 도구로서 원자 수준 모델링이 널리 채택되면서 그 유용성과 영향력이 입증되고 있습니다.

컴퓨터 성능이 눈덩이처럼 불어나는 한, 공정 화학 모델링의 미래는 밝습니다. 우리는 화학 공간에 대한 반자율적 탐색을 통해 개선된 전구체를 발견할 수 있기를 기대하고 있습니다. 기계 학습 기법은 복잡한 물성의 예측이나 대규모 시스템에 대한 원자간 잠재력의 정확도 향상과 같이, 물리 법칙에 기반한 시뮬레이션으로는 접근할 수 없었던 영역을 개척하고 있습니다.